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刘会玲 (刘会玲.) | 牛海波 (牛海波.) | 王小克 (王小克.) | 赵丽华 (赵丽华.) | 袁芳 (袁芳.)

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本文针对等厚干涉实验在学习和教学中存在两大困难分别基于实验和模拟仿真两种方式进行研究解决。第1类问题是对于劈尖干涉条纹出现的非理想情况,主要通过实际实验时出现的不同实验现象,分别通过实验装置的调整来分析并给出现象的原因及解决办法,从而使学生真正透彻理解和掌握所学的知识;第2类问题是关于等厚干涉的一个重要实际应用——利用条纹形状检测样品的平整度,实际中因为特定形状的缺陷元件不易加工,所以很难通过实验使学生观察到实验现象从而得出缺陷与干涉条纹的对应关系,解决这个问题是采用计算机软件(比如:Mat Lab、HALCON等)编程模拟绘制缺陷样品三维图对应的等厚干涉条纹,从而克服了实验条件的限制,能使学...

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薄膜 等厚干涉 干涉条纹 计算机仿真 劈尖干涉 条纹间距

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  • [ 1 ] 西安交通大学城市学院

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Year: 2022

Issue: 03

Volume: 23

Page: 41-44

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